什么是真空粗抽壓力呢,？真空室粗抽達(dá)到的壓力不應(yīng)低于15Pa,，到此壓力后應(yīng)關(guān)閉粗抽閥，并經(jīng)一段延時(shí)之后打開高真空閥,。一般不用粗抽泵去抽壓力低于15 Pa的大型系統(tǒng),。
    否則會(huì)引起嚴(yán)重的機(jī)械泵油返流。如果從靜止?fàn)顟B(tài)啟動(dòng)擴(kuò)散泵系統(tǒng)時(shí),，則擴(kuò)散泵要首先通入冷卻水,，然后開動(dòng)機(jī)械泵。在把粗抽管道里的氣體抽到某一壓力,，如100Pa后，即可打開前級(jí)管道閥門并對(duì)擴(kuò)散泵通電加熱,。擴(kuò)散泵預(yù)抽到一定壓力后,，關(guān)閉前級(jí)閥門，并打開粗抽閥門對(duì)真空室進(jìn)行粗抽,，這些動(dòng)作可由預(yù)先設(shè)定的真空規(guī)來(lái)自動(dòng)控制完成,。
   100mm或150mm口徑的擴(kuò)散泵的升溫時(shí)間約為15min，600～800mm口徑的擴(kuò)散泵則為30～45min,。對(duì)于返油率要求較高的帶冷阱的擴(kuò)散泵真空系統(tǒng),，當(dāng)啟動(dòng)擴(kuò)散泵時(shí)，在冷阱冷卻之前應(yīng)注意避免泵加熱期間的返流污染冷阱以上的部位。主要產(chǎn)品：真空含浸機(jī),真空浸漆