真空系統(tǒng)中,，當(dāng)擴(kuò)散泵開始工作時(shí)最好采用對(duì)冷阱進(jìn)行局部冷卻（預(yù)冷）或采用氣體沖洗來(lái)解決這個(gè)問題，一般這一步驟需要操作人員去手動(dòng)控制,。真空系統(tǒng)停機(jī)時(shí),，首先關(guān)閉高真空閥并使冷阱升溫，讓擴(kuò)散泵抽走冷阱放出的氣體和蒸氣,。
    如果讓冷阱自然地與其周圍環(huán)境達(dá)到平衡,，則視冷阱的結(jié)構(gòu)不同而需要4～20h。用真空浸漆干燥氮?dú)獯道溱宓囊旱獌?chǔ)罐可使這一時(shí)間大大縮短,。當(dāng)冷阱溫度達(dá)到0℃ ,，就可切斷擴(kuò)散泵電源。在擴(kuò)散泵冷卻到約50℃時(shí),，關(guān)閉前級(jí)管道閥門,，這時(shí)就可停前級(jí)機(jī)械泵并放氣。最后,，應(yīng)把擴(kuò)散泵的冷卻水關(guān)掉,。如特殊情況下需對(duì)擴(kuò)散泵內(nèi)放氣，則應(yīng)該在冷阱上方的閥門上進(jìn)行,，但必需把泵冷卻到50℃以下才行,。對(duì)真空室放氣不能在擴(kuò)散泵的前級(jí)管道閥門打開時(shí)進(jìn)行。
   這樣會(huì)使空氣經(jīng)過粗抽阱,、粗抽管道而回流進(jìn)入擴(kuò)散泵,，從而將大量的機(jī)械泵油蒸氣帶入擴(kuò)散泵。如果真空系統(tǒng)中的泵是每天啟動(dòng)和停機(jī)的話,，可采用氣體沖洗技術(shù)來(lái)防止過渡過程的返流污染系統(tǒng),。