真空系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)中，泵抽氣擴散有眾多好處,，擴散泵抽氣系統(tǒng)操作（或控制系統(tǒng)設(shè)計）時應(yīng)注意：如果抽氣系統(tǒng)正在運轉(zhuǎn)，并且真空室是處于大氣壓下（即真空室正在進行工藝準(zhǔn)備,，如裝卸物料,、處理工件等）,。
    則抽氣系統(tǒng)的高真空浸漆閥和粗抽閥都應(yīng)該是關(guān)閉的。在開始粗抽程序之前,，要關(guān)閉前級管道閥，打開粗抽閥,。在一般的真空系統(tǒng)中，粗抽管路上僅需要簡單的粗抽閥即可,。在大型有特殊要求的真空室里,，可以采用多步程序進行粗抽：首先,，可通過一個較小直徑的孔或旁路管道對真空室進行粗抽。該小孔或旁路支管可限制氣流的流速并防止紊流攪起真空室基板上的粒子,。這些粒子會靜電附著在絕緣襯底上,。其次,，當(dāng)真空室內(nèi)的壓力降到較低值時，再打開主粗抽閥門,，也可以在粗抽管路上設(shè)置節(jié)流閥，閥板由小到大逐漸開啟,。
    如果真空系統(tǒng)中采用羅茨泵，可以將泵旁路或讓它空轉(zhuǎn),，直到其入口和出口之間的壓差降低到羅茨泵安全工作的數(shù)值,，譬如1000Pa,，才開始將羅茨泵與前級機械泵進行串聯(lián)抽氣,，這些功能可采用簡單的壓力傳感器來執(zhí)行。