每種設(shè)備有系統(tǒng)，真空應(yīng)用設(shè)備種類繁多,，但無論何種真空應(yīng)用設(shè)備都有一套排除被抽容器內(nèi)氣體的抽氣系統(tǒng),，以便在真空容器內(nèi)獲得所需要的真空條件。舉例來說：一個(gè)真空處理用的容器,，用管道和閥門將它與真空泵連接起來,。
    當(dāng)真空泵對(duì)容器進(jìn)行抽空時(shí)，真空浸漆容器上要有真空測(cè)量裝置,，這就構(gòu)成了一個(gè)最簡單的真空抽氣系統(tǒng),。最簡單的真空系統(tǒng)只能在被抽容器內(nèi)獲得低真空范圍內(nèi)的真空度，當(dāng)需要獲得高真空范圍內(nèi)的真空度時(shí),，通常在真空系統(tǒng)中串聯(lián)一個(gè)高真空泵,。當(dāng)串聯(lián)一個(gè)高真空泵之后，通常要在高真空泵的入口和出口分別加上閥門,，以便高真空泵能單獨(dú)保持真空,。如果所串聯(lián)的高真空泵是一個(gè)油擴(kuò)散泵，為了防止大量的油蒸氣返流進(jìn)入被抽容器,，通常在油擴(kuò)散泵的入口加一個(gè)捕集器——水冷障板,。
    根據(jù)要求，還可以在管路中加上除塵器,、真空繼電器規(guī)頭,、真空軟連接管道、真空泵入口放氣閥等等,，這樣就構(gòu)成了一個(gè)較完善的高真空系統(tǒng),。