真空泵進(jìn)行抽氣的時(shí)候，液壓一般到多少最好,，一般將系統(tǒng)粗抽到15~20Pa左右時(shí),，關(guān)閉粗抽閥，等擴(kuò)散泵正常工作后（即油蒸汽射流正常噴射）,，打開高真空閥進(jìn)行抽氣,。如果擴(kuò)散泵正常工作一段時(shí)間后。
    被抽容器的真空度仍不提高,，則說明系統(tǒng)漏氣率太大,，應(yīng)當(dāng)關(guān)閉高真空閥,，待系統(tǒng)漏率符合要求時(shí)再打開高真空閥進(jìn)行抽氣。真空浸漆系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)應(yīng)按下述步驟進(jìn)行：關(guān)閉高真空閥,。如果在擴(kuò)散泵入口與高真空閥之間裝有液氮冷阱,，則在關(guān)閉高真空閥后，應(yīng)使冷阱升溫,，讓擴(kuò)散泵抽走冷阱放出的氣體和蒸汽,。冷阱升溫可采用自然升溫和用干燥氮?dú)獯狄旱獌?chǔ)罐兩種方法。前者升溫時(shí)間較長(zhǎng),，后者可使升溫時(shí)間大大縮短,。切斷擴(kuò)散泵加熱電源。如有冷阱,，可在冷阱溫度回升到0℃時(shí),，切斷擴(kuò)散泵電源。當(dāng)擴(kuò)散泵冷卻到50℃時(shí),，關(guān)閉前級(jí)閥,，然后關(guān)掉機(jī)械泵，并立即向泵內(nèi)放入大氣（可通過電磁放氣閥自動(dòng)完成）,。
　　關(guān)掉擴(kuò)散泵的冷卻水,。在真空系統(tǒng)停止工作時(shí)，如無特殊要求,，應(yīng)將系統(tǒng)各元件保持在真空狀態(tài)下封存,，但機(jī)械泵內(nèi)應(yīng)通大氣。