真空泵和許多機器一樣,，需要加潤滑油,，擴散泵抽氣系統(tǒng)的操作主要應注意：降低系統(tǒng)返流、冷阱的操作以及系統(tǒng)的故障保護問題,。
    真空浸漆真空系統(tǒng)的返流包括擴散泵泵液從擴散泵向真空室的遷移和機械泵油對系統(tǒng)（特別是真空室）的有機污染物,。油擴散泵工作時，不管使用什么樣的泵油,，即使泵口加冷阱,，也總會或多或少地有一部分油蒸氣返流進入高真空端。它們在擴散泵口建立的壓力,，有時比在泵壁溫度下的飽和油蒸氣壓還要高很多,。這不但影響真空系統(tǒng)的極限壓力，而且還對被抽容器造成污染,，因而返油率是擴散泵系統(tǒng)的主要考核指標,。
    在擴散泵抽氣系統(tǒng)中，返流主要受以下3個因素控制：擴散泵,、冷阱和障板,；粗抽油封式機械泵、阱和管道,；系統(tǒng)操作步驟,。